Nanozusammensetzungs-Photoresistzusammensetzung zur Abbildung von Dickfilmen
EP1877865
Art B1
13. November 2019
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1877865
- Aktenzeichen
- EP06744634
- Anmeldetag
- 10. März 2006
- Veröffentlichung
- 13. November 2019
- Erteilung
- 13. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039G03F7/022
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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