Mikrolithografisches Belichtungsgerät unter Verwendung von Polarisiertem Licht und Mikrolithografisches Projektionssystem mit Primären und Sekundären Hohlspiegeln
EP1877868
Art A1
16. Januar 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1877868
- Aktenzeichen
- EP06742716
- Anmeldetag
- 27. April 2006
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Sawodny Patentanwalt
Ulm, Deutschland
Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.
514
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Carl Zeiss AG - Patentabteilung
Carl Zeiss AG - Patentabteilung · Oberkochen