Plasmaverstärker für Plasmabehandlungsanlage

EP1878039 Art B1 4. März 2009

Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1878039
Aktenzeichen: EP06721937
Anmeldetag: 28. April 2006
Veröffentlichung: 4. März 2009
Erteilung: 4. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/26

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Oerlikon Trading AG, Trübbach
Land: 🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Kreutz, Thomas J Zumikon, Schweiz

12

Patente gesamt

6

Fachgebiete

2

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik

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