Verfahren zur Nanostrukturierung der Oberfläche eines Substrats
EP1878694
Art A3
17. Dezember 2008
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, Université Jean-Monnet, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1878694
- Aktenzeichen
- EP07112226
- Anmeldetag
- 11. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B82B3/00H01L21/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Université Jean-Monnet
Centre National de la Recherche Scientifique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Poulin, Gérard
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