Flüssigkeitsbearbeitungsvorrichtung und -verfahren

EP1879216 Art B1 25. Februar 2009

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1879216
Aktenzeichen: EP07011552
Anmeldetag: 13. Juni 2007
Veröffentlichung: 25. Februar 2009
Erteilung: 25. Februar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/16B05C11/08B05D1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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