Zusammensetzung zum Polieren einer Kupferverdrahtung und Verfahren zum Polieren der Oberfläche einer Integrierten Halbleiterschaltung

EP1879223 Art A1 16. Januar 2008

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited, SEIMI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1879223
Aktenzeichen: EP05737202
Anmeldetag: 6. Mai 2005
Veröffentlichung: 16. Januar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Asahi Glass Company, Limited
SEIMI CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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