Vorrichtung zur Filmerzeugung und Verfahren zur Filmerzeugung
Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, TOKYO ELECTRON LIMITED, KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1879431
- Aktenzeichen
- EP06730224
- Anmeldetag
- 28. März 2006
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05B33/10C23C14/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOHOKU UNIVERSITY
TOKYO ELECTRON LIMITED
KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI - Land
- 🇯🇵 Japan
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Japanisches Industrieunternehmen, Ursprungsgesellschaft des Toyota-Konzerns, fertigt Textilmaschinen, Gabelstapler, Fahrzeugmotoren und Automobilkomponenten.
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Vertreten von
-
Glawe, Delfs, Moll
Glawe Delfs Moll · Hamburg