Optisches System für eine Lithographievorrichtung

EP1880249 Art B1 23. Mai 2012

Anmelder: SAGEM Défense Sécurité 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1880249
Aktenzeichen
EP06754963
Anmeldetag
2. Mai 2006
Veröffentlichung
23. Mai 2012
Erteilung
23. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B17/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SAGEM Défense Sécurité
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Sagem Défense Sécurité

Sagem Défense Sécurité war die auf Verteidigungs- und Sicherheitselektronik spezialisierte Sparte des französischen Konzerns Sagem, die im Zuge der Fusion mit Snecma in der Safran-Gruppe aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Nachrichtentechnik und Software, ergänzt um elektrische Energietechnik und Optik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2017.

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