Verfahren zum Ätzen eines Oxids, zur Reduzierung von Rauheit und zur Formung von Kondensator-Konstruktionen

EP1880411 Art A1 23. Januar 2008

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1880411
Aktenzeichen
EP06758872
Anmeldetag
28. April 2006
Veröffentlichung
23. Januar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311C11D11/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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