Spulende Plasma-Cvd-Vorrichtung und Verfahren

EP1881087 Art B1 24. Juli 2013

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1881087
Aktenzeichen
EP06732516
Anmeldetag
10. Mai 2006
Veröffentlichung
24. Juli 2013
Erteilung
24. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B08B7/00C23C16/54C23C16/44C23C16/46C23C16/509H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Albutt, Anthony John London, Großbritannien
1.129
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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