Prozess zur Herstellung einer Strahlungsempfindlichen Harzzusammensetzung

EP1881371 Art A1 23. Januar 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1881371
Aktenzeichen: EP06732568
Anmeldetag: 12. Mai 2006
Veröffentlichung: 23. Januar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039H01L21/027G03F7/16G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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