Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP1881521 Art B1 23. Juli 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1881521
Aktenzeichen: EP06746085
Anmeldetag: 8. Mai 2006
Veröffentlichung: 23. Juli 2014
Erteilung: 23. Juli 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B1/06G02B21/33H01L21/027G02B13/24G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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