Transfervorrichtung für Halbleiterscheiben und für Substrate

EP1881526 Art B1 4. März 2015

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1881526
Aktenzeichen
EP07112793
Anmeldetag
19. Juli 2007
Veröffentlichung
4. März 2015
Erteilung
4. März 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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