Herstellungsverfahren eines Transistors mit selbstausrichtenden Doppelgates durch Reduzierung der Gate-Muster

EP1881533 Art A3 20. Februar 2008

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1881533
Aktenzeichen
EP07118245
Anmeldetag
17. November 2006
Veröffentlichung
20. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/786H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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