Verfahren zur Porositätsmessung mittels Ellipsometrie und Vorrichtung zur Implementierung eines Solchen Verfahrens

EP1882173 Art B1 26. Mai 2010

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1882173
Aktenzeichen
EP06764569
Anmeldetag
28. April 2006
Veröffentlichung
26. Mai 2010
Erteilung
26. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G01N15/08G01N21/21
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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