Blattartige Sonde zur Wafer-Untersuchung und Anwendung Dieser

EP1882952 Art A1 30. Januar 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1882952
Aktenzeichen: EP06756363
Anmeldetag: 19. Mai 2006
Veröffentlichung: 30. Januar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/073H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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