Positiv Arbeitende Resistzusammensetzung und Verfahren zur Resiststrukturerzeugung

EP1882981 Art B1 19. Dezember 2012

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1882981
Aktenzeichen
EP06732052
Anmeldetag
18. April 2006
Veröffentlichung
19. Dezember 2012
Erteilung
19. Dezember 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039C08F220/28G03F7/004H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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