Verfahren zur Verbesserung der Abbildungseigenschaften eines Projektionsobjektivs
EP1883861
Art B1
17. April 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1883861
- Aktenzeichen
- EP06753829
- Anmeldetag
- 24. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 17. April 2013
- Erteilung
- 17. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Heuckeroth, Volker
Stuttgart, Deutschland
172
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte