Herstellungsverfahren zur Integration von Nanostrukturen in Mikrochips
EP1883981
Art A1
6. Februar 2008
Anmelder: ETH Zurich, ETH Zürich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1883981
- Aktenzeichen
- EP05745623
- Anmeldetag
- 26. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 6. Februar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L51/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ETH Zurich
ETH Zürich - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
Sutter, Kurt
Zürich, Schweiz
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