Absperrventil für Energetische und Hochtemperaturgase

EP1886050 Art A2 13. Februar 2008

Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1886050
Aktenzeichen
EP06759304
Anmeldetag
8. Mai 2006
Veröffentlichung
13. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
F16K5/04F16K51/00F16K11/085C23C16/452C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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