Organometallische Verbindungen für CVD und ALD von dünnen Filmen

EP1887012 Art A3 27. Februar 2008

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1887012
Aktenzeichen
EP07113249
Anmeldetag
26. Juli 2007
Veröffentlichung
27. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C07F9/50C07F17/02C23C16/18C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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