Bedruckbares Substrat und Düsenausrichtungssystem

EP1888336 Art B1 25. September 2013

Anmelder: ULVAC, INC., Litrex Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1888336
Aktenzeichen
EP06758545
Anmeldetag
25. April 2006
Veröffentlichung
25. September 2013
Erteilung
25. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B32B41/00B41J2/21B41J25/00B41J19/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ULVAC, INC.
Litrex Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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