Systeme und Verfahren zum Implementieren und Wechselwirken zwischen einem als Linienstrahl Geformten Laser und einem auf einem Substrat Abgelagerten Film

EP1889000 Art A2 20. Februar 2008

Anmelder: Cymer, Inc., Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1889000
Aktenzeichen: EP06771153
Anmeldetag: 25. Mai 2006
Veröffentlichung: 20. Februar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/14G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, Inc.
Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik

Deutsches Unternehmen der Zeiss-Gruppe, spezialisiert auf industrielle Messtechnik, darunter Koordinatenmessgeräte und Sensoren zur präzisen Vermessung von Bauteilen in Fertigung und Qualitätssicherung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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