Hocheffiziente Methode mit Verwendung einer Falle für Ablagerungsverfahren

EP1889286 Art B1 28. März 2018

Anmelder: Edwards Vacuum, LLC, Edwards Vacuum, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1889286
Aktenzeichen
EP06759431
Anmeldetag
9. Mai 2006
Veröffentlichung
28. März 2018
Erteilung
28. März 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, LLC
Edwards Vacuum, Inc.
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Norton, Ian Andrew Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
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