Hocheffiziente Methode mit Verwendung einer Falle für Ablagerungsverfahren

EP1889286 Art B1 28. März 2018

Anmelder: Edwards Vacuum, LLC, Edwards Vacuum, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1889286
Aktenzeichen
EP06759431
Anmeldetag
9. Mai 2006
Veröffentlichung
28. März 2018
Erteilung
28. März 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, LLC
Edwards Vacuum, Inc.
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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