Interferometervorrichtung und Interferometerverfahren

EP1890105 Art A1 20. Februar 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1890105
Aktenzeichen: EP06016939
Anmeldetag: 14. August 2006
Veröffentlichung: 20. Februar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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