Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP1890193
Art B1
27. Oktober 2010
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1890193
- Aktenzeichen
- EP07114145
- Anmeldetag
- 10. August 2007
- Veröffentlichung
- 27. Oktober 2010
- Erteilung
- 27. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte