Verfahren zur Härtung von Wasserstoff-Silses-Quioxan und Seiner Verdichtung in Gräben von Nanogrösse

EP1891669 Art A2 27. Februar 2008

Anmelder: Dow Corning Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1891669
Aktenzeichen
EP06760541
Anmeldetag
12. Juni 2006
Veröffentlichung
27. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dow Corning Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Dow Corning

US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.

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