Verfahren zum Herstellen halogenhaltiger Schichten
EP1892316
Art A3
22. Juli 2009
Anmelder: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1892316
- Aktenzeichen
- EP07113986
- Anmeldetag
- 8. August 2007
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C23C14/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt
Deutsches Forschungszentrum für Luftfahrt, Raumfahrt, Energie und Verkehr mit Hauptsitz in Köln. Das DLR ist zugleich die deutsche Raumfahrtagentur und betreibt zahlreiche Institute im gesamten Bundesgebiet.
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