Verfahren zum Dotieren eines Halbleiterbauelements vom Fin-Typ

EP1892750 Art B1 28. November 2012

Anmelder: IMEC, STMicroelectronics (Crolles 2) SAS, Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1892750
Aktenzeichen
EP06119426
Anmeldetag
23. August 2006
Veröffentlichung
28. November 2012
Erteilung
28. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/265// H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
STMicroelectronics (Crolles 2) SAS
Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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