Substratbehälteröffner und Antriebsmechanismus für Öffnerseitentür dafür

EP1892755 Art B1 30. März 2016

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1892755
Aktenzeichen
EP07114942
Anmeldetag
24. August 2007
Veröffentlichung
30. März 2016
Erteilung
30. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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