Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Erhitzer und Herstellungsverfahren dafür

EP1892756 Art B1 14. Januar 2015

Anmelder: NGK Insulators, Ltd., NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1892756
Aktenzeichen
EP07253297
Anmeldetag
21. August 2007
Veröffentlichung
14. Januar 2015
Erteilung
14. Januar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NGK Insulators, Ltd.
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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