Ätzen von Vias mit hohem Aspektverhältnis

EP1892757 Art B1 7. Juni 2017

Anmelder: IMEC VZW, IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1892757
Aktenzeichen: EP07106361
Anmeldetag: 17. April 2007
Veröffentlichung: 7. Juni 2017
Erteilung: 7. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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