Herstellungsverfahren einer Vorrichtung mit einer Struktur mit einem oder einer Mehrzahl von Mikro- und Nanodrähten auf der Basis von Si und Ge mittels Germanium-Kondensation

EP1892766 Art B1 27. September 2017

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1892766
Aktenzeichen
EP07114820
Anmeldetag
23. August 2007
Veröffentlichung
27. September 2017
Erteilung
27. September 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/786H01L21/335H01L29/775H01L29/06H01L29/161H01L29/10B82Y10/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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