Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP1894978 Art B1 19. Januar 2011

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1894978
Aktenzeichen
EP07253000
Anmeldetag
31. Juli 2007
Veröffentlichung
19. Januar 2011
Erteilung
19. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/00H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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