Verfahren zur zerstörungsfreien Materialprüfung von hochreinem polykristallinen Silicium

EP1895297 Art B1 1. Juli 2009

Anmelder: Wacker Chemie AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1895297
Aktenzeichen
EP07114606
Anmeldetag
20. August 2007
Veröffentlichung
1. Juli 2009
Erteilung
1. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G01N29/04H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Wacker Chemie AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Wacker Chemie

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in München, spezialisiert auf Silicone, Polymere und polykristallines Silizium für die Halbleiter- und Solarindustrie. Das Unternehmen wurde 1914 gegründet.

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