Vorrichtung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung

EP1895565 Art A1 5. März 2008

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1895565
Aktenzeichen
EP07115466
Anmeldetag
31. August 2007
Veröffentlichung
5. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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