Strukturerzeugungsverfahren

EP1895576 Art B1 23. Juli 2014

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1895576
Aktenzeichen
EP06766824
Anmeldetag
16. Juni 2006
Veröffentlichung
23. Juli 2014
Erteilung
23. Juli 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Riken
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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