Verfahren zur Bearbeitung der Rückseite eines Halbleiterwafers, Verfahren zur Bearbeitung der Rückseite eines Substrats und strahlungshärtbare druckempfindliche Klebefolie

EP1895581 Art A3 23. Mai 2012

Anmelder: NITTO DENKO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1895581
Aktenzeichen
EP07016857
Anmeldetag
28. August 2007
Veröffentlichung
23. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68H01L21/304C09J7/02H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NITTO DENKO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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