Vorrichtung zur Messung eines Satzes Elektrischer Eigenschaften in einem Plasma
EP1896367
Art A2
12. März 2008
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1896367
- Aktenzeichen
- EP06784838
- Anmeldetag
- 13. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 12. März 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C02F1/00H01J37/32H05H1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Browne, Robin Forsythe
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