Verfahren zur Erzeugung einer Dielektrischen Folie und Neuartige Vorläufer zur Implementierung eines Solchen Verfahrens

EP1896629 Art B1 1. Dezember 2010

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1896629
Aktenzeichen
EP06778689
Anmeldetag
21. Juni 2006
Veröffentlichung
1. Dezember 2010
Erteilung
1. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/32C23C16/40H01L21/316H01L21/314
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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