Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur der von einem räumlichen Lichtmodulator modulierten Lichtmenge, Bildaufzeichnungsvorrichtung und Bildaufzeichnungsverfahren

EP1898237 Art B1 1. Dezember 2010

Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1898237
Aktenzeichen
EP07115879
Anmeldetag
7. September 2007
Veröffentlichung
1. Dezember 2010
Erteilung
1. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/18G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

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