Optisches Element, Haltevorrichtung für ein Optisches Element, Belichtungsvorrichtung und Bauelementherstellungsverfahren

EP1898241 Art A1 12. März 2008

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1898241
Aktenzeichen: EP06780623
Anmeldetag: 13. Juni 2006
Veröffentlichung: 12. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/02G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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