Epitaxialer Silizium-Wafer und Herstellungsverfahren dafür

EP1898450 Art A3 19. Januar 2011

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1898450
Aktenzeichen
EP07017348
Anmeldetag
5. September 2007
Veröffentlichung
19. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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