Alkalisches Ätzverfahren für einen Halbleiterwafer

EP1898454 Art B1 6. Januar 2010

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1898454
Aktenzeichen
EP07016454
Anmeldetag
22. August 2007
Veröffentlichung
6. Januar 2010
Erteilung
6. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306C01B11/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

281 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Baar, Christian München, Deutschland
26
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
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