Herstellungsprozess für einen Film zur Isolation zwischen Schichten

EP1898455 Art B1 15. Mai 2013

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Foundation for Advancement of International Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1898455
Aktenzeichen
EP06766953
Anmeldetag
20. Juni 2006
Veröffentlichung
15. Mai 2013
Erteilung
15. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/3205H01L21/768H01L23/52H01L21/312H01L23/498H01L23/532H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOHOKU UNIVERSITY
Foundation for Advancement of International Science
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

837 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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