Vorrichtung und Verfahren zur Aufrechterhaltung eines Annähernd Atmosphärischen Drucks Innerhalb einer Prozesskammer

EP1899509 Art A1 19. März 2008

Anmelder: NXP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1899509
Aktenzeichen
EP06765843
Anmeldetag
23. Juni 2006
Veröffentlichung
19. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C30B31/16C30B33/00H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NXP B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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