Euv-Lichtquellencollector-Lebensdauer-Verbesserungen

EP1899697 Art B1 30. Mai 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1899697
Aktenzeichen: EP06785428
Anmeldetag: 23. Juni 2006
Veröffentlichung: 30. Mai 2012
Erteilung: 30. Mai 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06G01J3/00// H05G2/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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