Anordnung zur Lagerung eines Optischen Bauelements
EP1899756
Art A2
19. März 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1899756
- Aktenzeichen
- EP06805630
- Anmeldetag
- 30. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 19. März 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Rapp, Josef Max
Oberkochen, Deutschland
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