Hochsauerstoffempfindliche Siliziumschicht und Verfahren zu Ihrer Herstellung

EP1900012 Art A1 19. März 2008

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, UNIVERSITE PARIS-SUD (PARIS XI), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1900012
Aktenzeichen
EP06764054
Anmeldetag
4. Juli 2006
Veröffentlichung
19. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
UNIVERSITE PARIS-SUD (PARIS XI)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

5.929 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen