Zum Grossteil aus Siliciumcarbid Hergestelltes und mit einer Dünnen Stöchiometrischen Folie aus Siliciumnitrid Beschichtetes Substrat zur Erzeugung Elektronischer Komponenten und Verfahren zur Gewinnung einer Solchen Folie

EP1900014 Art A2 19. März 2008

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, UNIVERSITE PARIS-SUD (PARIS XI), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1900014
Aktenzeichen
EP06792480
Anmeldetag
4. Juli 2006
Veröffentlichung
19. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
UNIVERSITE PARIS-SUD (PARIS XI)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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